Najnovija ASML mašina utire put novoj eri proizvodnje čipova: omogućava 2 nm i naprednije procese
Benchmark 17.03.2024 | Benchmark Redakcija
Mašina kompanije ASML nazvana Twinscan NXE:3800E predstavlja značajan napredak u EUV litografiji u pogledu performansi i preciznosti.
Sa sočivom za projekciju i numeričkim otvorom od 0,33, ova mašina obećava impresivnu produktivnost i tačnost u naprednoj proizvodnji čipova u poređenju sa svojim prethodnikom. Dizajnirana je za proizvodnju čipova po vodećim tehnologijama uključujući 3 i 2 nm, ali i još naprednije procese izrade koji će stizati u narednih nekoliko godina. Povećani propusni opseg omogućava mašini da obradi preko 195 vafera na sat, sa mogućnošću daljeg povećanja na 220 vafera uz